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Chroma Model 7935 晶圓檢測系統(tǒng)
2016-03-23
Chroma Model 7935 晶圓檢測系統(tǒng)為切割后自動化晶粒檢測機，使用先進(jìn)的打光技術(shù)，可以清楚的辨識晶粒的外觀瑕疵。結(jié)合不同的光源角度、亮度及取像模式，使得 7935可以適用于LED、雷射二極體及影像感測器等產(chǎn)業(yè)。
由于使用高速相機以及自行開發(fā)之檢測演算法，Chroma Model 7935 晶圓檢測系統(tǒng)可以針對特定瑕疵項目在2 分鐘內(nèi)檢測完2"晶圓，換算為單顆處理時間為15 msec。Chroma Model 7935 晶圓檢測系統(tǒng)同時也提供了自動 對焦與翹曲補償功能，以克服晶圓薄膜的翹曲與載盤的水平問題。Chroma Model 7935 晶圓檢測系統(tǒng)可配置不 同倍率之物鏡，使用者可依晶粒或瑕疵尺寸選擇適當(dāng)?shù)臋z測倍率。系統(tǒng)搭配的最 小解析度為0.35um，一般來說，可以檢測1um左右的瑕疵尺寸。
系統(tǒng)功能
在擴膜之后，晶粒或晶圓可能會產(chǎn)生不規(guī)則的排列，Chroma Model 7935 晶圓檢測系統(tǒng)也提供了搜尋及排列功 能以轉(zhuǎn)正晶圓。此外，Chroma Model 7935 晶圓檢測系統(tǒng)擁有人性化的使用介面可降低學(xué)習(xí)曲線，所有的必要 資訊，如晶圓分布，瑕疵區(qū)域，檢測參數(shù)及結(jié)果，均可清楚地透過UI呈現(xiàn)。
瑕疵資料分析
所有的檢測結(jié)果均會被記錄下來，而不僅只是良品/不良品的結(jié)果。這有助于找 出一組最佳參數(shù)，達(dá)到漏判與誤判的平衡點，瑕疵原始資料亦有幫助于分析瑕疵 產(chǎn)生之趨勢，并回饋給制程人員進(jìn)行改善。
綜合上述說明，Chroma Model 7935 晶圓檢測系統(tǒng)是晶圓檢測制程考量成本與效能的最佳選擇。長沙艾克賽普儀器設(shè)備有限公司作為臺灣Chroma公司湖南區(qū)域的總代理，以下為長沙艾克賽普儀器設(shè)備有限公司為您簡單介紹Chroma Model 7935 晶圓檢測系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)及產(chǎn)品特點，如果您想對Chroma Model 7935 晶圓檢測系統(tǒng)有更多的了解，歡迎致電長沙艾克賽普儀器設(shè)備有限公司，聯(lián)系電話：0731-84284278 84284378。更多產(chǎn)品信息歡迎點擊：www.zzhbled.com.cn。長沙艾克賽普儀器設(shè)備有限公司。
Chroma Model 7935 晶圓檢測系統(tǒng)主要特色：
最大可檢測8" 晶圓 (檢測區(qū)域達(dá)10" 范圍 )
可因應(yīng)不同產(chǎn)業(yè)的晶粒更換或新增檢測項目
上片后晶圓對位機制
自動尋邊功能可適用于不同形狀之晶圓
瑕疵規(guī)格編輯器可讓使用者自行編輯檢測規(guī)格
影像辨識成功率高達(dá) 98%
可結(jié)合上游測試機晶粒資料，合并后上傳至下一道制程設(shè)備
提供檢測報表編輯器，使用者可自行選擇適用資料并進(jìn)行分析
適合LED、雷射二極體及影像感測器等產(chǎn)業(yè)
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